RF Generator 射頻電源系列產(chǎn)品

當空間有限但性能至關(guān)重要時(shí)，穩定可靠且結構緊湊的財盈RFG1250是您的最佳解決方案。

應用領(lǐng)域：
適用于泛半導體產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)、LED產(chǎn)業(yè)、面板顯示器產(chǎn)業(yè)、工業(yè)制造、醫療健康產(chǎn)業(yè)、科學(xué)實(shí)驗等領(lǐng)域。
適用于PVD、CVD、PECVD、ALD、等離子體刻蝕、等離子體清洗等工藝。
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 全數字控制系統
> 高穩定度和精度輸出功率
> 結構緊湊，集成度高，易替換其他機型

可替代產(chǎn)品：
> AE APEX 同級別產(chǎn)品
> AE CASER 同級別產(chǎn)品
> AE RFG 同級別產(chǎn)品
> MKS\ENI OEM同級別產(chǎn)品

> 市面上大部分13.56Hz 1KW射頻電源

FAST MATCH 射頻匹配器 

財盈自動(dòng)匹配器高速、高效、高穩定的匹配性能，適用于要求苛刻的高速匹配應用

Microwave Generator 微波發(fā)生器 & 磁控管

財盈微波電源是一款基于IGBT高頻逆變技術(shù)的新型微波電源。

應用領(lǐng)域：
主要用于半導體ALD鍍膜、光刻膠去除、微波等離子體刻蝕、微波等離子體去膠、人工鉆石等工藝。
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 全數字化模式，控制精確，穩定性好
> 穩定的燈絲控制，可延長(cháng)磁控管壽命
> IGBT高頻高頻開(kāi)關(guān)電源

可替代產(chǎn)品：
> ASTEX C13170 等同級別產(chǎn)品
> MKS F120160 等同級別產(chǎn)品
> MUEGGE 等同級別產(chǎn)品

Remote Plasma Source 遠程等離子體源

獨特腔體設計和超長(cháng)使用壽命，是真空腔體清潔的理想之選

應用領(lǐng)域：
主要用于清潔CVD、PECVD和PEALD腔體及半導體廠(chǎng)芯片制造和液晶面板的生產(chǎn)制造
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 8 slm NF 流量，清潔時(shí)間更快
> 解離 >95%，清潔效果更高效
> 獨特的發(fā)生腔體設計，壽命更長(cháng)
> 體積小，集成度高，靈活配置

可替代產(chǎn)品：
> MKS Paragon AX7710 8L
> 其他 8L 同規格產(chǎn)品

Circulation Pump 溫控循環(huán)泵

循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行高精密控制，使涂膠顯影機臺散熱、冷

應用領(lǐng)域：
溫控循環(huán)泵是涂膠顯影機臺中TCU溫度控制單元必不可少的部件之一。
 

產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 變溫速率更快
> 運行溫控精度可達到±0.2℃
> 客制化定制、靈活配置

HV Plate 高壓盤(pán)

將電流通過(guò)倍壓整流，濾波將電壓倍數提升后輸出

應用領(lǐng)域：
高壓電源核心組件，主要應用于離子注入、X射線(xiàn)發(fā)生器、束流焊、科研等領(lǐng)域
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 良好的耐擊穿絕緣性能
> 大電流倍壓耦合電容損耗低
> 專(zhuān)業(yè)真空脫泡技術(shù)

可替代產(chǎn)品：
>Hitck Power OL8000原廠(chǎng)已停產(chǎn)組件

Dummuy Load 假負載

應用領(lǐng)域：
常用于射頻發(fā)生器的功率消散、校準、操作規程和日常檢查
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：
> 工作頻帶寬 
> 駐波比系數低
> 抗脈沖

可替代產(chǎn)品：
> Bird  Dummy Load